1. ナノ3D光干渉計測システム VS1800
工業製品の研究開発や製造段階での品質検査において,製品を構成する部品や素材の表面性状を測定する必要があるが,製品の高性能化や多機能化に伴い,その測定に求められる分解能や精度は,高いレベルを要求されるようになっている。また,測定の高速化や簡便化への要求も高い。
これらの要求に応える装置として,今回,新たにナノ3D光干渉計測システムVS1800を発売した。VS1800は,光の干渉現象を利用して表面性状を計測する装置であり,数ミリメートルの広い観察範囲(最大6.4 mm角)を数秒で計測可能でありながら,SPM(Scanning Probe Microscope:走査型プローブ顕微鏡)と同等の垂直分解能0.01 nmでの計測を実現する。さらに透明多層膜の層断面計測が可能で,膜厚や層内部にある異物・剥がれなどを非接触・非破壊で計測できる特長を有する。
加えて,VS1800は従来から提供してきた走査型白色干渉顕微鏡に対してスキャンレンジと試料厚みを拡大し,測定高さ最大10 mm, 測定試料の厚みは最大100 mmまで対応可能となり,ナノからミリレベルの幅広い高さ測定を実現している。
(株式会社日立ハイテクノロジーズ)