電子顕微鏡では，電子レンズが持つ球面収差により，分解能向上が長らく阻まれてきた。1990年代中盤にようやく，この球面収差を補正する装置が開発された。しかし，高加速電圧なSTEM・TEMへの搭載には多くの技術課題があった。日立製作所・日立ハイテクノロジーズでは，球面収差補正器の実用化開発を進めるCEOS社と共同で，球面収差補正器を搭載した200 kV STEM，300 kV TEMを開発し，分解能の大幅な向上を実現した。さらに1.2MV原子分解能・ホログラフィー電子顕微鏡への搭載にも成功し，世界最高分解能の達成に大きく貢献した。これらの開発では，高電圧・超高電圧に対応した球面収差補正器の開発とともに，電子顕微鏡本体も安定性を大幅に高める必要があり，緊密な協力体制により，技術課題を一つ一つ解決していった。

本稿では，CEOS社を創設し，球面収差補正器の開発を率いてきたMax. Haider氏に，CEOS社と日立製作所・日立ハイテクノロジーズとの共同開発を総括していただいた。