―共同プロジェクトでハイエンドTEMに収差補正器を搭載―
株式会社日立ハイテクノロジーズ(以下,「日立ハイテク」と記す。)は,フランスの国立科学研究機関CEMES(Centerfor Materials Elaboration and Structural Studies:材料精緻化・構造研究センター)とのコラボレーションにより,ハイエンドFE-TEM(Field-Emission - Transmission ElectronMicroscope:電界放出形透過電子顕微鏡)に球面収差補正器を搭載した電子顕微鏡を開発して,2012年にCEMESに納入した。この装置は,世界最高クラスの分解能(磁場フリー位置で空間分解能0.5 nm)を得ている。
本稿では,コラボレーションの成功に至る道筋を振り返る。