走査型プローブ顕微鏡は，サブナノメートルの高分解能で，試料表面の形状と機械的・電気的物性を測定することが可能な装置である。

株式会社日立ハイテクサイエンスは，産業計測用途でのニーズに応えるために，正確な三次元形状の計測ができる走査型プローブ顕微鏡AFM5500Mを開発した。カンチレバーの自動光軸調整機構や測定パラメータ自動調整機能を搭載することで，オペレータの負荷を軽減する簡単操作を実現している。また，走査電子顕微鏡や走査型白色干渉顕微鏡とのリンケージ機能を有することで，試料の同一箇所の相補的な観察・計測や物性測定を可能とした。本稿では，AFM5500Mとリンケージ機能について，測定例を交えながら紹介する。