モノづくりにおいては，設計どおりに製造できていることを保証するため，モノの検査や計測が必要不可欠である。

日立製作所研究開発グループの生産分野の「検査・計測」技術基盤では，外観検査・計測，非破壊検査，化学・プローブ応用計測，光学式3D形状計測の4つの中核技術を設定し，さまざまな対象に対応した検査・計測技術の開発に取り組んでいる。これらの中核技術の強化により，日立グループのモノづくりにおける品質向上や信頼性の確保に貢献するとともに，検査・計測装置事業を牽引していく。

本稿では，それぞれの中核技術の開発例として，半導体外観検査技術，超音波およびX線による非破壊検査技術，ナノ分解能顕微鏡および生体分子計測，光学式3D形状計測技術を紹介する。